差距进一步扩大？ASML第三代EUV光刻机交付，用于2nm芯片报价约13亿元

ASML近日在社交平台发文称：芯片制造商需要速度，第一台TWINSCAN NXE:3800E现已安装在一家芯片工厂中。

据了解，TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代标准EUV光刻机，其配备了0.33数值孔径透镜，相较于此前发布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了进一步提升，能够支持未来几年芯片行业3nm以及2nm制程芯片的生产制造。

在性能方面，TWINSCAN NXE:3800E在晶圆处理速度与对准精度方面有了更出色的表现，它可以实现每小时处理195片晶圆的速度，相较于3600D每小时约160片的速度大约提升了22%，而且未来还有可能提升到每小时处理220片晶圆的速度。此外它还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。

TWINSCAN NXE:3800E精度与速度上的提升，让芯片制造厂商在生产2nm制程芯片以及后续需要双重曝光的制造技术时有很好的效果。不过即使是用于4nm或者5nm的制程芯片，TWINSCAN NXE:3800E也能够提升效率，让芯片的生产更高效，从而降低成本。

当然，这样一套目前行业领先的EUV光刻机自然价格也是不便宜，据了解TWINSCAN NXE:3800E每套报价为1.8亿美元，换算成人民币约为13亿元。不过相较于前段时间ASML卖给英特尔的High-NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200（报价为3.8亿美元），也算是比较有性价比了。

虽然ASML官方并没有透露首台TWINSCAN NXE:3800E具体交付给了哪家厂商，但有评论指出是英特尔。在ASML的助力下，美国芯片企业发展顺风顺水，在努力拉开与其它国家的差距。

发布于：上海

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