潮科技 | Sorex推出首款FBAR颗粒物传感器,想把手机变成“移动空气监测站”
编者按:本文来自微信公众号“MEMS”(ID:MEMSensor),原文题目《剑桥大学创业公司Sorex推出首款FBAR颗粒物传感器》,作者麦姆斯咨询殷飞,36氪经授权发布。
据麦姆斯咨询报道,从剑桥大学孵化出来的创业企业Sorex Sensors基于其突破性传感技术推出了首款颗粒物传感器。
这款颗粒物传感器附带开发套件,专为空气净化系统等设备而设计,甚至可以嵌入智能手机,使每台智能手机都成为“移动监测站”。此外,它还可以用于原子层沉积设备,以监测沉积速率和量。
多种疾病被证实与糟糕的室内空气质量有关,尤其是肺部疾病,如哮喘和慢性阻塞性肺病(COPD)等。室内空气质量受到多种因素的影响,例如,用于清洁或装饰的化学物质,建筑物供暖和烹饪,建筑和装修材料,以及吸烟等,这些都会产生影响空气质量的一氧化碳(CO)和甲醛等挥发性有机物(VOC)。
Sorex开发的传感器基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术。FBAR技术包含由压电材料制成的谐振薄膜。当有颗粒物(质量)附着在谐振器表面时,会改变谐振频率,由此提供了传感区域上颗粒物质量的精确测量。Sorex的FBAR传感器可全部在硅晶圆上完成制造。
Sorex推出的这款FBAR颗粒物传感器非常小,像人的头发丝直径一样薄,具有极高的质量灵敏度(飞克级,大约为病毒颗粒的质量)。这使它比现有的传感器更准确、响应更快,因此甚至可以检测到痕量的有害化合物。其分立的非特定传感器能够检测亚PM 2.5范围内的微小颗粒。
“人们越来越意识到颗粒物和VOC的危害,及其与某些癌症等一系列疾病的关联。它们几乎无处不在,例如室内家具、洗护用品和清洁材料等,以及火炉和燃气灶,但我们看不到也闻不到它们。”Sorex Sensors首席技术官Mario de Miguel Ramos博士说,“Sorex的这款颗粒物传感器可以帮助控制粉尘,是我们开发用于室内空气质量监测系列传感器的第一步。我们的目标是使我们的传感器能够像您的眼睛、耳朵和鼻子一样,在所有危害组分达到有害水平之前及时地监测到它们。”
2018~2023年气体传感器市场规模预测
资料来源:《气体和颗粒物传感器-2018版》
根据Yole此前发布的《气体和颗粒物传感器-2018版》报告,2018年气体传感器市场规模为8亿美元,2023年将超过10亿美元;2017年颗粒物传感器市场规模为1.5亿美元,预计2023年将超过2亿美元。Sorex推出的新款传感器面向各种粉尘控制系统的制造商。在产品开发过程中,传感器附带的开发套件可以非常简便地插入笔记本电脑,以显示传感器捕获的颗粒物数据。
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