工信部推广国产氟化氩光刻机:分辨率≤65nm
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时间:2024年09月15日 01:33据微信公众号“工信微报”消息,近日,工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。
“工信微报”介绍道,重大技术装备是国之重器,事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品,包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
而观察者网注意到,在《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》电子专用装备目录下,集成电路设备方面:氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
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发布于:上海
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