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光刻机国产化现状

来源：晰数塔互联网快讯时间：2023年03月29日 09:47

在荷兰光刻机断供消息下，上海微电子传出好消息，之前上海微电子还只能够量产90nm光刻机，正在攻坚28nm光刻机。但最近网传上海微电子近期推出了自己的光刻机28nm的样机，通过科技部验证，将发往客户。

在芯片食物链上，华为处在台积电的下方，没有台积电为华为代工芯片，华为的手机业务就要被卡脖子。而台积电又处在阿斯麦尔的下方，没有阿斯麦尔供应的光刻机，台积电就做不出最先进的芯片。处在阿斯麦尔上方的是蔡司。对阿斯麦尔光刻机至关重要的镜头仅有蔡司一家企业能够供应。

光刻机是制造芯片的核心装备，制造难度极大，誉为世界上最精密的仪器。而光刻机是一种半导体工业中常用的设备，用于将电路图案转移到半导体芯片上。在制造芯片时，需要使用光刻机将电路图案“镀”在芯片表面上，以便进行后续的加工工艺。

全球光刻机市场中，从2021年全球478台前道光刻机的出货数据来看，ASML的309台，占比是65%，剩余的35%几乎被日本的尼康和佳能全部占据着。但如果具体到EUV高端光刻机，ASML的市场份额近乎100%。ASML对光刻机高端市场中绝对垄断地位。

国产光刻机上海微电子正在全力攻关28nm技术，28nm光刻机是DUV光刻机，采用了波长为193nm的深紫外光，能够制造28nm芯片，双重曝光后可以制造14nm芯片，但是良品率会下降。

一台光刻机的主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块。目前上海微电子光刻机基本实现国产化。与上海微电子光刻机相关的企业整理如下：

茂莱光学：公司给上海微电子供货DUV光学透镜。

苏大维格：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件也是光刻机产品的重要部件，单台价值近百万级。

炬光科技：公司是ASML DUV光刻机核心部件之一“光场匀化器”供应商，是曝光系统中的核心激光光学元器件，公司已经进入上海微电子供应链。

张江高科：参股上海微电子，通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。

腾景科技：公司多波段合分束器产品进入半导体微电子设备厂供应链。

福晶科技：公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要的上游原材料，KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的应用市场。

风险提示：本文章仅供读者参考或研究使用，不构成投资建议，请独立思考，谨慎投资。

发布于：北京