首页科技快讯实话实说，除了ASML，全球很难再有企业研发出EUV光刻机

实话实说，除了ASML，全球很难再有企业研发出EUV光刻机

来源：晰数塔互联网快讯时间：2023年04月23日 00:32

在光刻机领域，ASML一家占了全球近80%的份额。

而在EUV领域，ASML一家占了100%的份额，在DUV光刻机中的浸润式光刻机中，ASML一家占了90%+以上的份额。

可以说，高端光刻机是ASML的天下，其中EUV光刻机更是ASML的独家生意。

这可能就让人纳闷了，目前EUV光刻机这么抢手，intel、三星、台积电、美光、SK海力士等都在抢EUV光刻机，ASML的产能也不大，EUV光刻机是一机难求。

但为何像尼康、佳能等其它光刻机厂商，基本上都不去碰EUV光刻机呢？大家都想要进入EUV光刻机这样的先进领域，但都不是EUV的方向，更多的还是选择另外的方向，比如NEL电子束、DSA自生成技术、NIL纳米压印等，都与EUV方向不一样。

其实很简单，那就是除了ASML之外，全球很难再有企业，能够研发出EUV光刻机，它不仅仅是技术上的问题，更是商业上的问题。

ASML的EUV光刻机，并不是ASML独立造出来的，ASML曾说过，自己最多只生产其中15%的核心部件，另外的85%是全球供应链提供的。

从技术方面来看，ASML已经拉拢了德国蔡司、美国企业Cymer，再与德国TRUMPF公司，从光源、物镜、工作台等方面，形成了技术共同体，大家要获得这个技术很难。

更难的是从商业上面，ASML与下游的晶圆厂是一体的，比如台积电、intel、三星等是ASML的股东，大家一起合作共同开发EUV光刻机，大家捆在一起，利益共享。

而EUV的市场本身其实并不大，别看它这么抢手，但基于高端芯片市场的需求，EUV光刻机的市场规模，也就只能养活一家ASML这样的厂商，再多一家都困难。

所以其它任何一家厂商，就算研发出了EUV光刻机，最终双方都可能活不下来，要打价格战，打死另外一家，才能够活下来。

这种价格战，其实是不利于整个行业的，所以像台积电、三星、intel这样的厂商，还有EUV光刻机整个产业链的厂商，都不会愿意看到这样的情况，到时候是几败俱伤，没有赢家。

所以另外的厂商，也明白这个道理，基本不会去从EUV领域入手，去抢ASML的市场，因为基本上不会成功。而ASML也明白这个道理，所以也不会乱定价，会定一个大家接受，且相对合理的价格，维持整个产业链的平衡，让大家真正捆在一起，不给其它厂商机会。

所以，这也是目前为何其它光刻机厂商，就算想进入先进制程，也不会从EUV入手的原因，而是选择另外方向，因为另外方向上，ASML没有与上、下游、以及整个产业链形成捆绑，这样才有机会。

至于中国厂商，会不会从EUV光刻机入手？现在讨论这个还太早了，国产光刻机还处于90nm阶段，先迈进浸润式阶段再说，等掌握了浸润式，再来考虑EUV，路还是要一步一步慢慢走才行。

发布于：湖南