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这家年内A股首支上市半导体设备公司如何？

来源：晰数塔互联网快讯时间：2022年04月28日 19:08

4月20日，拓荆科技正式登陆科创板，作为年内首家在科创板上市的半导体设备公司，上市首日表现出乎许多人的意料，盘中股价最高浮盈涨幅一度达到46.02%，当日收盘价92.30元，较发行价上涨28.41%。

在目前A股新股破发成新常态的背景下，投资者对打新已从早先的狂热变得有点犹豫，截止目前为止今年在科创板上市的14家半导体公司中已经有7家上市首日就跌破发行价。

而拓荆科技虽然初期在网上申购活跃，有效申购股数达到186.75亿股，有效申购倍数达到网上初始发行数量为537.5万股的3474.55倍，随后公司将发行的新股扣除战略配售后的10%的由网下回拨至网上，但让人意外的是网上最终发行的813.45万股新股中竟有超过153.62万股弃购，弃购比例达到18.88%，许多中签者在犹豫下最终还是放弃了申购，或许包销剩余弃购股份的主承销商招商证券也没想到幸福来的这么突然，其接盘的弃购新股上市首日就获益超过3000万元。

令人犹豫的可能是在目前的破发潮背景下，连实现盈利的峰岹科技和长光华芯等半导体公司都破发了，相比之下，对于目前连盈利都尚未实现的拓荆科技前景就更难说了，那么对于这家公司怎么看，我们来分析一下。

PECVD设备优势明显，SACVD和ALD设备尚待验证

拓荆科技主营薄膜沉积设备，是国内PECVD设备领域的龙头，产品包括等离子体增强化学沉积（PECVD）设备、次常压化学气相沉积（SACVD）设备和原子层（ALD）沉积设备，其中PECVD设备为公司核心产品，也是其收入的主要来源，公司2021年PECVD设备收入6.75亿元，占营收的89.11%，SACVD设备和ALD设备收入占营收比重较小，分别为5.43%和3.78%。

公司的PECVD产品包括12英寸的PF-300T和8英寸的PF-200T两个系列。其中PF-300T系列设备主要应用于14nm以上的逻辑芯片以及FLASH和DRAM存储芯片的制造，10nm以下的逻辑芯片PF-300T型号目前处于验证中，PF-200T系列设备主要应用于90nm以上集成电路的制造。

除拓荆科技外，国内CVD设备的主要生产商还有北方华创和中微公司，北方华创CVD产品主要为APCVD、LPCVD和PECVD，对比可应用于90nm以下工艺的PECVD，APCVD和LPCVD的工艺制程分别为微米级和纳米级，而北方华创的PECVD目前主要应用在光伏、LED以及功率器件领域；中微公司在CVD方面的产品为MOCVD设备，主要应用在LED领域。

相对于北方华创而言，拓荆科技在PECVD设备的半导体产业化方面进展更大，从国内晶圆厂对CVD设备招标国产厂商中标情况来看，长江存储、华虹无锡和中芯绍兴等6家主要晶圆厂从2020年初到2022年2月的总共招标1060台薄膜沉积设备，国产厂商中标58台，其中CVD类型的招标设备中大部分被拓荆科技的PECVD设备中标，北方华创中标的18台设备中主要是PVD设备。

根据拓荆科技招股书显示公司2021年1-9月完成85台PECVD设备（PF-200T和PF-300T之和）的销售，其中PF-200T销售出46台，PF-300T销售出39台，根据PF-200T和PF-300T的销售单价以及公司2021年PECVD实现的6.75亿元收入可推断出全年销售出的PECVD设备数量在160台以上。

拓荆科技也是目前国内SACVD设备首先通过客户验证的厂商，其生产的SACVD设备可适配12英寸28nm以上和8英寸90nm以上的逻辑芯片生产工艺，目前在130-90nm逻辑芯片的金属前绝缘工艺中已经应用，更先进制程工艺处于验证中，2021年公司向燕东微电子出售完成1台SACVD设备的销售。

在ALD设备方面，拓荆科技生产的PE-ALD设备可用于生产28-14nm以上的逻辑芯片，同时可用于2.5D和3D先进封装，目前正在研发Thermal-ALD设备，国内另一ALD设备厂商同样为北方华创，北方华创和拓荆科技先后于2017年底和2018年分别向ICRD（上海集成电路研发中心）交付一台ALD设备，拓荆科技招股书显公司2021年1-9月未实现ALD设备的销售，根据其2021年全年ALD设备实现销售收入2862万元可推断出其2021年向ICRD销售出一台ALD设备。

整体来看，公司除了PECVD实现了批量出货，SACVD和ALD设备目前尚未批量生产，目前还是主要处于厂商验证阶段。

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